半导体净化车间中常用的地板材料包括铝合金高架地板、环氧树脂自流平地面材料和PVC防静电地板。铝合金地板具有轻量化、高强度、易安装等特点，适用于高精度环境。环氧树脂自流平地面材料具有良好的平整度、防静电性能和耐腐蚀性。PVC防静电地板则以其出色的防静电和易清洁性能广泛应用于半导体净化车间。